7月9日 ，由在欧美等国集成电路创新第一阵容主办的”2022集成电路产业链协同创新迅速发展交流会”以六大会场加于网连线的多种途径同步即将举行 。来于 集成电路全产业链各环节的优秀企业所、高校和科研院所的千余位属于参会 ，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海尹连城受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业传统技术 创新奖（简称“IC创新奖”） ，东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI） ，拿不到传统技术 创新奖。
“IC创新奖”由在欧美等国集成电路创新第一阵容主办 ，面向在欧美等国集成电路产业链上下游企事业单位管理 征集 ，重点鼓励集成电路传统技术 创新、成果产业化、产业链上下游成功合作 ，是集成电路产业最不可或缺的传统技术 奖项既是 ，其余传统技术 创新奖项旨在表彰在集成电路重大传统技术 创新和不可或缺传统技术 开发其它方面佳绩重大突破的单位管理 和公司团队。本次摘得新兴行业 重磅赛事的不可或缺奖项 ，还在彰显出东方晶源在电子束检测、量测细分领域的传统技术 实力超强和新兴行业 的平台发展高度认可。
检测是芯片制造厂商整体整体提升良率的不可或缺通过。电子束检测设备还具超高精度 ，在高端芯片制造复杂过程 发挥的作用明显越发大。目前来看 ，该类设备被在欧美等国厂商垄断 ，既是制约欧美等国芯片制造自主可控的不可或缺瓶颈。东方晶源数年磨剑 ，成功了研传来在欧美等国首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505 ，可不能消费需求不能消费需求提供的纳米级缺陷检测和及分析解决目前方案。目前来看已实施欧美等国头部芯片制造厂商产线验证 ，验证最终表明再就 指标与在欧美等国一线对标机台左右同等水平提升 ，成功了解决目前欧美等国在电子束检测细分领域的不可或缺传统技术 解决目前。
东方晶源在电子束检测、量测细分领域已深耕多年并成功了正式推出多款设备 ，佳绩重大突破。除本次获奖的电子束缺陷检测设备EBI外 ，旗下首台12英寸不可或缺尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于上半年6月即将进入产线验证 ，目前来看成功了完成成熟制程量产验证 ，图像质量清晰 ，与POR 的CD差异不不能消费需求相关要求 ，性能还在改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于上半年3月即将进入产线验证 ，目前来看尽管即将进入最终客户产线小规模试产。其余 ，东方晶源还于上周今天发布了电子束缺陷复检设备（DR-SEM） ，目前来看该设备工程机（Alpha机）尽管实施首轮wafer demo ，能够不不能消费需求28nm及左右用制程不能消费需求 ，Beta机集成我的工作加速推进中 ，已佳绩最终客户订单 ，即将进入产线验证指日可待。
既是两家聚焦集成电路良率管理细分领域 ，以整体整体提升芯片制造门槛为使命的半导体企业所 ，东方晶源但是以研发创新为迅速发展核心 ，态势增加 丰富其他产品矩阵并整体整体提升其他产品性能 ，填补多项在欧美等国空白。因为未来 ，东方晶源将还在立足一体化相关软件平台发展和检测装备两大细分领域 ，以最终客户为四大中心 ，以在欧美等国市场为导向 ，态势增加 实施传统技术 突破与其他产品创新 ，与欧美等国集成电路产业上下游企业所勠力同心 ，推动欧美等国集成电路制造产业还在高速迅速发展。